掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品, 通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用, 來(lái)激發(fā)各種物理信息, 對(duì)這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。

 

掃描電鏡具有景深大、分辨率高, 成像直觀、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測(cè)樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn)。另外具有可測(cè)樣品種類(lèi)豐富, 幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時(shí)獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。

 

掃描電鏡的主要結(jié)構(gòu)：

 

電子光學(xué)系統(tǒng)：產(chǎn)生高能電子束的鏡筒，包括:電子槍、電磁透鏡和掃描線圈;

信號(hào)探測(cè)處理及成像系統(tǒng)：接收并處理各種電子信號(hào)，包括掃描信號(hào)發(fā)生器、探測(cè)器、掃描放大器、電子信息處理器和監(jiān)控器;

圖像記錄系統(tǒng)：記錄電子圖像的信息，包括攝像頭、圖像分析器和記錄設(shè)備;

真空系統(tǒng)：作為電子束與樣品作用載體，包括樣品室、真空閥門(mén)、機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵、離子泵和真空檢測(cè)裝置;

電源供給系統(tǒng)：調(diào)控掃描電子顯微鏡外部環(huán)境，包括不間斷電源、變壓器、穩(wěn)壓器、安全控制線路和獨(dú)立地線。